Interféromètre différentiel

La tête de détection RLD10-X3-DI a été conçue pour être installée à la paroi externe d'une chambre de traitement au moyen d'une monture simple à trois broches. Il est inutile de pénétrer dans la chambre pour aligner la tête de détection car des orienteurs de faisceaux permettent d'effectuer un réglage indépendant de lacet et tangage du faisceau de référence et de mesure. Par ailleurs, la conception du système de monture permet de démonter et de repositionner la tête de détection avec une incidence minimum sur l'alignement du système.

La tête de détection DI est souvent spécifiée dans le cadre du système RLE20 ; la source laser haute résolution de la RLU20 convient parfaitement aux mesures dans les chambres sous vide et autres environnements strictement contrôlés.

Caractéristiques

Ces chiffres sont basés sur la tête RLD10-X3-DI avec une unité laser RLU20

Caractéristiques et avantages

• Métrologie exceptionnelle
  Stabilité de fréquence p.p. 10⁹ et erreur cyclique ultra faible permettant des résolutions atteignant 38,6 pm.
• Configuration différentielle
  Mesure la position relative de la table par rapport au coulisseau, de la pièce par rapport à l'outil. Élimine les erreurs de mode courantes comme le mouvement de paroi latérale de la chambre lié aux fluctuations d'environnement.
• Alignement rapide
  Alignement simple depuis l'extérieur de la chambre de traitement au moyen de quatre orienteurs de faisceaux intégrés (réglage de lacet et de tangage de ± 1° pour les faisceaux de mesure et de référence) afin de résoudre les tolérances de montage de la chambre et du miroir.