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Codeurs optiques ultra vide (UHV)

Construits à partir de matériaux compatibles avec le vide et d'adhésifs à faibles taux de dégazage et résultats propres de RGA (analyse de gaz résiduel) démontrés. Température d'étuvage 120°C

Système optique sans contact et ouvert permettant un fonctionnement fiable, à grande vitesse avec des niveaux nuls de friction et d'usure. Sorties numériques et analogiques standard avec résolutions de jusqu'à 1 nm.

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Montage UHV Les codeurs (UHV) Renishaw sont compatibles avec des vides pouvant atteindre 10-11 TORR. Le système de codeur RGH25F UHV fonctionne avec la règle souple RGS20-S pour les applications à la fois linéaire et arc partiel. La tête de lecture RGH20F fonctionne avec le codeur angulaire RESR pour donner des informations rotatives de précision. Des Codeurs linéaires UHV TONiC™ et codeurs rotatifs UHV TONiC™ ont été ajoutés à la gamme depuis le deuxième trimestre 2010.

Cette gamme « vide » convient à de nombreuses applications telles que les manipulations et tests de tranches de semi-conducteurs, les instruments scientifiques, la spectroscopie, les équipements d'inspection sous vide, etc.

Caractéristiques et avantages des têtes de lecture UHV

  • Elles sont faites à partir de matériaux et adhésifs compatibles au vide à faibles taux de dégazage et résultats propres de RGA (analyse de gaz résiduel).
  • Température d'étuvage 120°C
  • Système optique sans contact et ouvert permettant un fonctionnement fiable, à grande vitesse avec des niveaux nuls de friction et d'usure
  • Sorties numériques et analogiques standard avec des résolutions de jusqu'à 1 nm.
  • Leur faible consommation minimise la dissipation de chaleur
  • Joints à aération
  • Électronique adaptative donnant une haute précision, une fiabilité à long terme et une erreur cyclique faible (± 50 nm pour les RGH25F UHV et RGH20F UHV, ± 30 nm pour le TONiC UHV)
  • Cordon blindé RFI avec câblage enduit compatible au vide
  • Le codeur TONiC UHV est doté de la marque de référence optique

Plus d’informations...

Codeur linéaire compatible au vide RGH25F UHV
Codeur rotatif (angulaire) compatible au vide RGH20F UHV
Codeur linéaire compatible au vide TONiC UHV
TONiC UHV codeur rotatif (angulaire) compatible au vide

Avis d'obsolescence

Notez que les têtes de lecture RGH25U et RGH25 UHV et l'interface RGB sont désormais obsolètes et qu'elles ont été remplacées respectivement par les RGH25F, RGH25F UHV et par l'interface REF.

Brochures

  • Brochure: Non-contact position encoders brochure [2.4MB] Brochure: Non-contact position encoders brochure [English]

    Renishaw offers a wide range of compact optical and magnetic encoder systems to meet the diverse requirements of industrial automation. This product catalogue details an extensive selection of high speed optical linear encoders, precision angle encoders, robust rotary magnetic encoders and a range of laser interferometers.

Fiches techniques

  • Data sheet: RGH25F encoder system [299kB] Data sheet: RGH25F encoder system [English]

    Renishaw’s RGH25F offers all the benefits of the market leading RG2 non-contact linear encoder systems; patented filtering optical scheme, high contamination tolerance and high speed.

  • Data sheet: RGH25F UHV, RGH20F UHV [328kB] Data sheet: RGH25F UHV, RGH20F UHV [English]

    Renishaw’s vacuum compatible optical encoders offer all the benefits of the established RG2 linear and angle encoder systems; non-contact patented filtering optical scheme, high accuracy and high speed.

  • Data sheet: RGH20 encoder system [620kB] Data sheet: RGH20 encoder system [English]

    The RGH20 is a compact readhead for use with Renishaw’s range of 20 μm RESR rotary encoders and RSLR high accuracy linear scale

Articles

  • News article: Renishaw scales facilitate micro-machining research [123kB] News article: Renishaw scales facilitate micro-machining research [English]

    Special equipment has recently been installed at the University of Southampton by Ionoptika Ltd., for research into one of the most demanding of applications; micro-machining. Among the highly specialised suppliers involved is Renishaw, whose RG2 scale and RGH25 UHV readheads provide the crucial means of positioning for the nanometric movements required. People outside this discipline often find it hard to comprehend just how minute such work is – for example, Ionoptika’s full company logo can be etched 20 μm wide on a typical metallic screen mask.

Étapes suivantes

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